什么是扫描电镜的减速模式

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/02 07:43:38
什么是扫描电镜的减速模式

什么是扫描电镜的减速模式
什么是扫描电镜的减速模式

什么是扫描电镜的减速模式
对于扫描电镜,较高的加速电压可以获得较好的分辨率,但由于电子束穿透样品较深,样品极表面的细节可能无法显现;低加速电压可以获得更浅表的细节,并且可以有效地减少对样品的损伤和荷电效应,甚至对于不导电的样品可以直接观察,但是牺牲了一些分辨率.二者互有优缺点.
减速模式在电子枪发射时使用较高的加速电压,只是在样品上附加一个反向的电场,使得电子束在即将到达样品的时候减速,使实际到达样品的电压减小至两千伏以下甚至几百伏.即保持了高加速电压的高分辨率,又实现了低加速电压有效地减少对样品的损伤和荷电效应的能力.