物理法与改良西门子法提练的原生多晶硅有什么不同

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/10 23:34:18
物理法与改良西门子法提练的原生多晶硅有什么不同

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改良西门子法增加了四氯化硅氢化工艺,实现了闭路循环,比较环保