磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 21:23:33
磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别

磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别
磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别

磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别
前者为离子轰击靶材,然后靶材物质溅射,沉积在基片上.
后者物质加热,达到熔点,再达到沸点,蒸发至基片上.