PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/11 18:21:04
PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?

PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?
PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?

PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?
客户一直说,与原厂的比较,现在的使用时间还是很差距,还要提高质量,这个石英管本身我们在做的时候,已经是非常严格的去控制他的质量,从材料与气泡方面应该说已经很好在国内石英材料来讲.我记得早期03-04年的时候,这个石英管是OD30*ID26*L1130mm,壁厚2.0mm,后来因为质量的原因才把石英管加厚,当初认为是可能质量会好一点.
我是想说：1、以上想法有可能有误解.
2、石英管在PECVD工艺中爆裂,不是因为因为温度,而是电磁波的原因.
3、国产外径30的石英管,壁厚越厚,气泡方面等缺点越难控制,反而壁厚薄,气泡越是能控制好,甚至没有,
不知,哪位高手愿意一起来合作配合,能否愿意来试,我可以提供石英管.
另外,现在缠绕的那个膜,你们是用国产的还是3M的.

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